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PVD离子源电源


所属分类

离子源电源


● 电源效率≥90%;

● 强大的抑弧功能,有效抑制异常放电,响应时间<500ns;

● 具有效率高、运行稳定等优点;

● 电源默认恒流模式,可选恒流、恒压、恒功率模式;

● 通过前面板上触摸屏,可调节输出电流的大小;

● 电源在面板上的上触摸屏内配有电压、电流、功率、占空比、频率及温度显示;

● 具有恒流输出特性和良好的适应性。      




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